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| 产品特性：自动 | 加工定制：是 | 品牌：青岛晶诚 |
| 型号：JC-RCA01 | 用途：RCA清洗 | 别名：标准清洗机 |
| 规格：可定制 | 溶液：酸、碱、有机、DIW | 控制：PLC |
| 参数设定：触摸屏 | 槽体材质1：NPP、SUS | 槽体材质2：石英、PTFE |
| 记录功能：有 | 循环过滤：可选 | 自动机械手：可选 |
| 自动供液：可选 | 晶圆尺寸：2-12吋 |
设备名称 RCA清洗机 用途 晶圆的RCA清洗 操作方式 手动/半自动/自动 适用领域 半导体材料、集成电路、MEMS、LED芯片、功率器件等 适用工艺 SC-1、SC-2、SPM、BOE、超声（兆声）清洗、QDR等； 清洗方式 槽式清洗 可清洗尺寸 2吋---12吋晶圆 主体材质 全不锈钢框架，外包进口PP、PVC板 槽体材质 石英、PVDF、PTFE、NPP等 温控精度 ±1℃ 安全防护 自动安全门、漏液报警、漏电保护、液位保护、急停、声光报警系统 模块化设计 满足客户多种工艺及产能的定制化要求 可编程菜单，方便用户操作，直观 实时流程显示，可控性强 多级权限密码，方便管理，*** 自动保存生产数据 可实现远程控制 可实现功能 药液管理系统（自动供液、自动补液、循环过滤）、在线加热、甩干、电导率检测、恒温系统、百级FFU等
