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| 产品特性：自动 | 加工定制：是 | 品牌：晶诚 |
| 型号：JCDZ-WS06 | 用途：湿法清洗 | 别名：湿法清洗台 |
| 规格：台 | 操作方式：半自动/自动 | 可清洗尺寸：2-12吋晶圆 |
| 适用领域：半导体材料 | 安全防护：有 |
| 化学湿台 |
用途 | 湿法 清洗 腐蚀 |
操作方式 | 手动/半自动/自动 |
适用领域 | 半导体材料、集成电路、MEMS、LED芯片、功率器件等 |
适用工艺 | 酸洗、碱洗、有机清洗、刻蚀、超声（兆声清洗）、QDR清洗、显影、去胶、电镀、旋干 |
清洗方式 | 槽式清洗 单片清洗 |
可清洗尺寸 | 2吋--12吋 |
药液供给 | 手动/自动 |
主体材质 | PP PVC不锈钢 |
槽体材质 | 石英、PVDF、PTFE、NPP、 不锈钢等 |
温控精度 | ±1℃ |
安全防护 | 自动安全门、漏液报警、漏电保护、液位保护、急停、声光报警系统 |
模块化设计
| 满足客户多种工艺及产能的定制化要求 |
可编程菜单，方便用户操作，直观 | |
实时流程显示，可控性强 | |
多级密码，方便管理，*** | |
自动保存生产数据 | |
可实现远程控制 | |
可实现功能 | 药液管理系统（自动供液、自动补液、循环过滤）、在线加热、甩干、电导率检测、恒温系统、百级FFU、自动灭火等 |
